半導(dǎo)體解決方案

QC3化合物半導(dǎo)體的X射線計(jì)量學(xué)
  • 產(chǎn)品品牌: 布魯克 Bruker
  • 產(chǎn)品產(chǎn)地: 德國(guó)
  • 應(yīng)用領(lǐng)域: 在化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，用于外延層成分與厚度測(cè)量，監(jiān)測(cè)生產(chǎn)質(zhì)量；對(duì) Si、GaAs、InP、GaN 等半導(dǎo)體材料的襯底或外延層進(jìn)行測(cè)試分析；還可助力化合物半導(dǎo)體相關(guān)的材料研究與工藝優(yōu)化 。
  • 產(chǎn)品簡(jiǎn)介: 布魯克 QC3 是專(zhuān)注于化合物半導(dǎo)體的 X 射線計(jì)量設(shè)備。它采用標(biāo)準(zhǔn)密封管光學(xué)元件，搭配多種光束調(diào)節(jié)晶體，可針對(duì)不同應(yīng)用優(yōu)化分辨率與強(qiáng)度。能實(shí)現(xiàn) 300mm 行程，支持大尺寸晶圓或多個(gè)小晶圓同時(shí)測(cè)量。具備全自動(dòng)化操作流程，從樣品水平安裝、校準(zhǔn)，到測(cè)量與數(shù)據(jù)分析均可自動(dòng)完成，也能借助專(zhuān)業(yè)軟件離線分析 。

QC3 是歷史悠久且久經(jīng)考驗(yàn)的外延層 QC 系統(tǒng)。它是一種高分辨率的X射線衍射工具，非常適合質(zhì)量控制。它用于測(cè)量幾乎任何材料的外延層的成分和厚度。該系統(tǒng)使用標(biāo)準(zhǔn)的密封管光學(xué)器件，結(jié)合各種光束調(diào)節(jié)晶體，可以對(duì)其進(jìn)行優(yōu)化，為每種應(yīng)用提供最高的分辨率和強(qiáng)度組合。

  • 自動(dòng)化程度高：操作完全自動(dòng)化，樣品水平安裝便捷，晶片準(zhǔn)直、數(shù)據(jù)采集與分析一氣呵成
  • 性能出色：專(zhuān)注半導(dǎo)體材料高分辨率 X 射線衍射，X 射線強(qiáng)度較上一代設(shè)備提升，測(cè)試精度與速度得以?xún)?yōu)化。
  • 功能多樣：能實(shí)現(xiàn)化合物半導(dǎo)體材料對(duì)稱(chēng)、非對(duì)稱(chēng)及傾斜對(duì)稱(chēng)幾何的 X 射線衍射，可直接測(cè)量確定多層外延膜結(jié)構(gòu)的外延層組分、弛豫度和應(yīng)變，廣泛適用于多種外延層材料的成分和厚度測(cè)量 。