半導(dǎo)體解決方案

Hysitron ATI 8800納米機械計量學(xué)
  • 產(chǎn)品品牌: 布魯克 Bruker
  • 產(chǎn)品產(chǎn)地: 美國
  • 應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體、材料研究、生物材料等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體制造中監(jiān)測工藝；材料研究里分析材料微觀力學(xué)性能；生物材料領(lǐng)域，對骨、牙齒等生物醫(yī)學(xué)樣品納米力學(xué)特性開展研究
  • 產(chǎn)品簡介:

Hysitron ATI 8800納米機械計量設(shè)備能夠通過測量的機械性能和/或界面附著力值的可量化變化快速識別意外的工藝變化，從而有效地監(jiān)控其產(chǎn)品的機械可靠性。納米機械計量能夠快速識別工藝變化，以提高產(chǎn)量、提高產(chǎn)品可靠性、驗證新工藝、縮短上市時間并最大限度地降低運營成本。測量是完全自動化的，能夠在大批量制造環(huán)境中連續(xù)監(jiān)測薄膜模量、硬度和界面附著力。

  • 高精度測量：采用雙壓電陶瓷驅(qū)動的壓痕加載模式
  • 多種測試模式：支持多種測量模式，如恒應(yīng)變速率加載模式、動態(tài)加載模式等
  • 高溫測試能力：配備高溫納米壓入模塊
  • 自動化程度高：搭載全自動三軸一體化位移臺
  • 光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)質(zhì)：配有高質(zhì)量真空顯微鏡系統(tǒng)
  • 框架設(shè)計合理：采用開放式花崗巖龍門測試框架，穩(wěn)定性好